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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機YSP600U
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機YSP600U
雅馬拓產(chǎn)品報價：0.00

樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合。

用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理 
●清洗各類基板。 
●電子部品、材料表面改質(zhì)。 
●去除有機物和自然氧化膜。 
特點 
●體積小，節(jié)省空間。 
●選用小型腔體，反應(yīng)效率高。 
●更容易嵌入生產(chǎn)線使用。 
●可通過操作面板自由切換等離子模式。 
●配備冷卻反應(yīng)臺
屬性 參數(shù)
模式 RIE（DP模式選購）
高頻輸功率 600W
反應(yīng)臺尺寸 W300×D300mm
反應(yīng)氣體 2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應(yīng)氣體流量控制 質(zhì)量流量控制器
氣體導(dǎo)入口 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

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