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使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式
調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應
多種用途。
●可變更電極構造提高等離子效果。
●搭載高精度適配器， RF電源。
● 根據需求規格提供 。
特征
●硅晶圓的灰化及蝕刻
●基板表面污垢處理
●IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●半導體相關部品的電子材料的干式清洗
●自然氧化膜
●界面活性處理
●表面污染物去除
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000X
雅馬拓產品報價：0.00
13.56MHz 高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。
| 屬性 | 參數 |
| 等離子模式 | DP/RIE |
| 高頻電源 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | Max1000 & 1500W |
| 有效電極尺寸 | W300×D300mm |
| 電極 | 2段電極（獨立） |
| 反應氣體 | 聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） |
| 真空泵（標配） | 約1500L/min |
| 安全裝置 | 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 |
