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特點
大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔。
小型一體化設(shè)計。
操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）。
日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機PR510
雅馬拓產(chǎn)品報價：0.00
低溫等離子·經(jīng)典桶型
| 屬性 | 參數(shù) |
| 型號 | PR510 |
| 模式 | DP模式，桶型 |
| 高頻輸出功率 | Max500W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 回調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) |
| 反應(yīng)腔 | 石英①215 x305mm |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（O2/CF4) |
| 控制 | 觸摸屏自動控制 |
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 |
| 外形尺寸 | 參照規(guī)格書 |
| 重量 | 參照規(guī)格書 |
| 電源 | 三相AC200V8A |
