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特點
大口徑（Φ215mm）石英反應腔。
小型一體化設計。
操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）。
日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機PR500
雅馬拓產品報價：0.00
低溫等離子·經典桶型
| 屬性 | 參數 |
| 型號 | PR500 |
| 模式 | DP模式，桶型 |
| 高頻輸出功率 | Max500W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 回調方式 | 自動協調 |
| 反應腔 | 石英①215 x305mm |
| 反應氣體 | 2系統（O2/CF4) |
| 控制 | 手動 |
| 配管材質 | 不銹鋼、特氟龍 |
| 外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm |
| 重量 | 約60KG |
| 電源 | 單相AC100V9A |
